外商投资企业的设立，虽因行业不同有所不同，但中提来说外商独资企业的设立主要经过以下几个程序：

第一步：企业名称的预先核准；

第二步：报批可行性研究报告、董事会成员与公司章程；

第三步：申请设立登记，并领取营业执照；律师

第四步：领取营业执照后办理机构代码、税务、外汇、劳动、海关、财政、银行、统计等登记手续。

如果是特种行业，或者外资批准准入的行业，还要办理相关的许可手续，比如外资保险公司，外资银行等。

具体的各个程序如何办理，可以参考我们法律一站通网站的其他文章。